F2是一种很好的可替代三氟化氮(NF3)的气体;在光伏发电、半导体和显示器行业中皆可作为一种清洁能源运用。既不会加重温室效应,也便于客户节约清洗设备的时间,能够有效的提高生产力。
该部门负责人表示,“这项新的技术将进一步提高客户的生产率且降低生产成本,对于苏威而言也是一个新的标志性发展。”
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