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氢气纯化装置有效提升多晶硅纯度
将其从体系中去除，使大循环体系的氢气质量得到明显改善。采用其纯化后的氢气生产多晶硅，产品中金属杂质含量相对稳定，表明该纯化器可以为多晶硅稳定生产发挥保障作用。
/channels/chem/20110621/726462.html 0K 2011-06-21