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氢气纯化装置有效提升多晶硅纯度
硅产品纯度和质量。现场示范结果还表明，通过对循环氢气进行纯化，可使多晶硅质量均达到电子级标准。对于循环氢气中含量有时会突然增大的甲烷或者氮气，该纯化装置可以不
/channels/chem/20110621/726462.html 0K 2011-06-21