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大日本印刷等日企业开发微机电系统
联合开发微机电系统（MEMS）制造技术。上述14家公司中包括欧姆龙、Panasonic电工、三菱电机、大日本印刷株式会社和爱发科株式会社等。微机电系统是用于数
/channels/nmn/20100917/349547.html 0K 2010-09-17

大日本印刷等日企业开发微机电系统
联合开发微机电系统（MEMS）制造技术。上述14家公司中包括欧姆龙、Panasonic电工、三菱电机、大日本印刷株式会社和爱发科株式会社等。微机电系统是用于数
/channels/culture/20100916/346865.html 0K 2010-09-16

美国科学家研发出可自我校准的微机电系统
大小。微电计量技术通过测量微机电系统的电子特性来定义其机械特性，因为在这样的微观尺度上，电子特性比物理力更易测量。一旦获得了微机电系统器件的电容数据，研究人员就
/channels/bm/20100820/298145.html 0K 2010-08-20