光刻设备交货延期推迟DRAM 40纳米战局

  全球DRAM产业40纳米大战出现变量，由于浸润式机台(ImmersionScanner)递延交货之故，瑞晶已松口表示，原本计划年底前旗下8万片12寸晶圆产能要全转进45纳米制程的目标，将正式递延至2011年第1季，其第1台浸润式机台本周才会正式到货，比原订时程晚了2~3个月，内部已决定将8万片产能全数转进63纳米制程作为应变。DRAM业者皆认为，全球DRAM产业的40纳米正式对决时间点，会是在2011年！

　　瑞晶总经理陈正坤表示，瑞晶第1台浸润式机台将于本周正式到货，预计在9月之前会有5~6台浸润式机台进来，届时将加快转进45纳米制程的速度。

　　陈正坤进一步指出，三星电子(SamsungElectronics)这次在40纳米世代的技术再度超前，其实是台系DRAM厂和美日同业都遇到相同的瓶颈，其中大部分都是卡在浸润式机台递延交货之故。

　　根据DRAM业者透露，三星早在2009年初就开始预定浸润式机台，加上东芝(Toshiba)、台积电等半导体大厂在50纳米以下制程，也都需要浸润式机台，2009年台系DRAM厂因为财务缺口还身陷泥淖，现在面对机台递延的状况，只能无奈接受。

　　不过，瑞晶为了弥补45纳米制程进度递延，内部也决定将旗下8万片产能全数转进63纳米制程，原本内部计划只转一部分，另一部分要从65纳米直接跳45纳米，但依据现在情势发展，瑞晶已决定加速全转进63纳米制程，才能赶上下半年个人计算机(PC)传统旺季。

　　陈正坤表示，目前63纳米已开始大量投片，预计6月有30%产出会是63纳米制程产品，7月就会全线转进63纳米制程，等下半年浸润式机台陆续到位后，会再逐渐转进45纳米制程。

　　瑞晶原本计划在2010年底之前，旗下12寸晶圆厂8万片产能会全转转进45纳米制程，但因为浸润式机台交货的时间点比预期晚上2~3个月，因此内部经过评估，年底前8万片全转45纳米制程的目标无法达阵，将会递延1季，预计要到2011年第1季才会全转完。

　　此外，力晶下半年也将加入45纳米制程大战，但投片和量产的时间点大约会比瑞晶晚上1季。

　　在南亚科和华亚科阵营方面，则仍是预定下半年会转进42纳米制程，此技术是由美光(Micron)和南亚科共同研发。

　　再者，韩系大厂在40纳米世代制程进度上，仍是呈现领先态势，三星和海力士(Hynix)将分别转进46纳米和44纳米制程，下半年可望大量出货，但全球真正40纳米世代之战，时间点会是在2011年，届时登场的主流产品会是2Gb容量的DDR3芯片。